Cumhdach Sputtering Nuair a bhuaileann cáithníní ardfhuinnimh an dromchla soladach, is féidir leis na cáithníní ar an dromchla soladach fuinneamh a fháil agus éalú ón dromchla atá le taisceadh ar an tsubstráit.Thosaigh feiniméan sputtering le húsáid i dteicneolaíocht sciath i 1870, agus de réir a chéile a úsáidtear i dtáirgeadh tionsclaíoch tar éis 1930 mar gheall ar an méadú ar an ráta taisce.Taispeántar an trealamh sputtering dhá-cuaille a úsáidtear go coitianta i bhFíor 3 [Léaráid scéimreach de dhá sputtering cuaille sciath bhfolús].De ghnáth déantar an t-ábhar atá le taisceadh i bpláta-targaid, atá socraithe ar an gcatóid.Cuirtear an tsubstráit ar an anóid atá os comhair an spriocdhromchla, cúpla ceintiméadar ar shiúl ón sprioc.Tar éis an córas a phumpáil go dtí ardfholús, líontar é le gás 10 ~ 1 Pa (argón de ghnáth), agus cuirtear voltas roinnt mílte volta i bhfeidhm idir an catóide agus an anóid, agus gintear urscaoileadh glow idir an dá leictreoid. .Eitlíonn na hiain dhearfacha a ghineann an t-urscaoileadh chuig an gcatóid faoi ghníomhaíocht réimse leictrigh agus imbhuaileann siad leis na hadaimh ar an spriocdhromchla.Tugtar adaimh sputtering ar na sprioc-adaimh a éalaíonn ón spriocdhromchla de bharr an imbhuailte, agus tá a gcuid fuinnimh sa raon 1 go dtí na deich leictreoin volta.Déantar na hadaimh sputtered a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit chun scannán a fhoirmiú.Murab ionann agus sciath galú, níl an sciath sputter teoranta ag pointe leá an ábhair scannáin, agus is féidir le substaintí teasfhulangacha a sputtering mar W, Ta, C, Mo, WC, TiC, etc. modh, is é sin, is é an gás imoibríoch (O, N, HS, CH, etc.).
a chuirtear leis an ngás Ar, agus imoibríonn an gás imoibríoch agus a hiain leis an sprioc-adamh nó leis an adamh sputtered chun cumaisc (cosúil le ocsaíd, nítrigin) Comhdhúile, etc.) a fhoirmiú agus a thaisceadh ar an tsubstráit.Is féidir modh sputtering ard-minicíochta a úsáid chun an scannán inslithe a thaisceadh.Tá an tsubstráit suite ar an leictreoid thalamh, agus tá an sprioc inslithe suite ar an leictreoid os coinne.Tá foirceann amháin den soláthar cumhachta ard-minicíochta bunaithe ar thalamh, agus tá foirceann amháin ceangailte le leictreoid atá feistithe le sprioc inslithe trí líonra meaitseála agus toilleoir blocála DC.Tar éis an soláthar cumhachta ard-minicíochta a chur ar siúl, athraíonn an voltas ard-minicíochta a polaraíocht go leanúnach.Bhuail na leictreoin agus na hiain dheimhneacha sa phlasma an sprioc inslithe le linn an leath-thimthriall deimhneach agus leath-thimthriall diúltach an voltais, faoi seach.Ós rud é go bhfuil an soghluaisteacht leictreon níos airde ná sin na n-ian dearfach, tá dromchla an sprioc inslithe luchtaithe go diúltach.Nuair a shroichtear an chothromaíocht dhinimiciúil, tá an sprioc ag poitéinseal laofachta diúltach, ionas go leanann na hiain dearfacha atá ag sputtering ar an sprioc.Is féidir leis an úsáid a bhaintear as sputtering maighnéadrón an ráta sil-leagan a mhéadú beagnach ord méide i gcomparáid le sputtering neamh-mhaighnéadrón.
Am postála: Jul-31-2021