Sciath galú: Trí shubstaint áirithe a théamh agus a ghalú chun é a thaisceadh ar an dromchla soladach, tugtar sciath galú air.Mhol M. Faraday an modh seo den chéad uair sa bhliain 1857, agus tá sé ar cheann de na
teicnící brataithe a úsáidtear go coitianta sa lá atá inniu ann.Léirítear struchtúr an trealaimh sciath galú i bhFíor 1.
Cuirtear substaintí galaithe cosúil le miotail, comhdhúile, etc. i breogán nó crochadh ar shreang te mar an fhoinse galú, agus cuirtear an píosa oibre atá le plátáilte, mar shampla miotail, ceirmeacha, plaisteacha agus foshraitheanna eile, os comhair an breogán.Tar éis an córas a aslonnú go dtí folús ard, téitear an breogán chun an t-ábhar a ghalú.Déantar adaimh nó móilíní na substainte galaithe a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit ar bhealach comhdhlúite.Is féidir le tiús an scannáin raon ó na céadta angstroms go roinnt miocrón.Déantar tiús an scannáin a chinneadh ag ráta galú agus am an fhoinse galú (nó an méid luchtaithe), agus baineann sé leis an achar idir an fhoinse agus an tsubstráit.Maidir le bratuithe limistéar mór, is minic a úsáidtear substráit rothlach nó foinsí galú iolracha chun aonfhoirmeacht thiús an scannáin a chinntiú.Ba cheart go mbeadh an fad ón bhfoinse galú go dtí an tsubstráit níos lú ná an meánchosán saor ó mhóilíní gaile sa ghás iarmharach chun imbhualadh móilíní gaile le móilíní gáis iarmharacha a chosc ó éifeachtaí ceimiceacha a chruthú.Tá meánfhuinneamh cinéiteach na móilíní gaile thart ar 0.1 go 0.2 leictreon volta.
Tá trí chineál foinsí galú ann.
① Foinse teasa friotaíochta: Bain úsáid as miotail teasfhulangacha ar nós tungstain agus tantalam chun scragall bád nó filiméad a dhéanamh, agus cuir sruth leictreach i bhfeidhm chun an tsubstaint galaithe os a chionn nó sa bhreogán a théamh (Fíor 1 [Léaráid scéimreach de threalamh brataithe galú] sciath bhfolús) Téamh friotaíochta úsáidtear foinse go príomha chun ábhair a ghalú mar Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni;
② Foinse téimh ionduchtaithe ardmhinicíochta: bain úsáid as sruth ionduchtaithe ardmhinicíochta chun an breogán agus an t-ábhar galú a théamh;
③ Foinse téimh bhíoma leictreonaic: infheidhme Maidir le hábhair a bhfuil teocht galú níos airde acu (nach ísle ná 2000 [618-1]), déantar an t-ábhar a ghalú tríd an ábhar a bhuamáil le bíomaí leictreon.
I gcomparáid le modhanna sciath bhfolús eile, tá ráta taisce níos airde ag an sciath galaithe, agus is féidir é a bheith brataithe le scannáin chumaisc bhunúsacha agus neamh-dhianscaoilte teirmeach.
D'fhonn scannán criostail aonair ard-íonachta a thaisceadh, is féidir epitaxy beam móilíneach a úsáid.Taispeántar an gléas epitaxy bhíoma mhóilíneach le haghaidh ciseal criostail aonair dópáilte GaAlAs i bhFíor 2 [Léaráid scéimreach de sciath bhfolús feiste epitaxy bhíoma mhóilíneach].Tá an foirnéis scaird feistithe le foinse bhíoma mhóilíneach.Nuair a théitear go teocht áirithe faoi fholús ultra-ard, déantar na heilimintí san fhoirnéis a dhíbirt chuig an tsubstráit i sruth móilíneach cosúil le bhíoma.Téitear an tsubstráit go teocht áirithe, is féidir leis na móilíní a thaisceadh ar an tsubstráit dul ar imirce, agus déantar na criostail a fhás in ord laitíse criostail an tsubstráit.Is féidir epitaxy bhíoma mhóilíneach a úsáid chun
scannán criostail aonair cumaisc ard-íonachta a fháil a bhfuil an cóimheas stoichiometric riachtanach aige.Is é an scannán is moille a fhásann Is féidir an luas a rialú ag 1 ciseal/soicind amháin.Trí rialú a dhéanamh ar an sciath, is féidir an scannán criostail aonair leis an gcomhdhéanamh agus an struchtúr riachtanach a dhéanamh go cruinn.Úsáidtear epitaxy bhíoma mhóilíneach go forleathan chun feistí comhtháite optúla éagsúla agus scannáin struchtúir superlattice éagsúla a mhonarú.
Am postála: Jul-31-2021